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薄膜电阻应变传感器中的绝缘隔离

作者姓名：	黄蕙芬

作者单位：	东南大学电子工程系

摘要：	木文介绍了薄膜电阻应变传感器中作为绝缘隔离层的双层介质膜的制备方法及其绝缘特性．
关键词：	薄膜电阻，应变传感器，绝缘隔离
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