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| 气体工业名词术语 | |
| 引用本文： | 梁国仓.气体工业名词术语[J].低温与特气,1999(1):63-63. |
| 作者姓名： | 梁国仓 |
| 摘 要： | 特种气体 （Ｓｐｅｃｉａｌｔｙｇａｓｅｓ）系指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。电子气体 （Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｇａｓｅｓ） 半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和… |
| 关 键 词： | 气体工业 名词 术语 标准气 特种气体 电子气体 |
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