| 磁控溅射CrAlTiN镀层的微观结构研究 |
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| 引用本文： | 陈迪春,蒋百灵,吴文文.磁控溅射CrAlTiN镀层的微观结构研究[J].西安理工大学学报,2010,26(4). |
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| 作者姓名： | 陈迪春 蒋百灵 吴文文 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划基金(973计划)，西安理工大学优秀博士生科研基金 |
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| 摘 要： | 使用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对磁控溅射CrAlTiN镀层的相组成、化学态和截面微观结构进行了综合分析。分析结果表明,CrAlTiN镀层具有明显的纳米多层结构,多层膜的周期为4.9nm。CrAlTiN镀层是由多种物相组成的复合镀层,以CrN型金属氮化物为主体,同时含有少量的Cr、Al金属单质以及M2O3(Al2O3,Cr2O3和Ti2O3)型金属氧化物,镀层生长时Al、Ti金属原子取代CrN晶格中的Cr原子形成CrN型金属氮化物。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 微结构 CrAlTiN镀层 XPS HRTEM |
A Study of Microstructure of CrAlTiN Coatings Prepared by Magnetron Sputtering |
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| CHEN Di-chun,JIANG Bai-ling,WU Wen-wen.A Study of Microstructure of CrAlTiN Coatings Prepared by Magnetron Sputtering[J].Journal of Xi'an University of Technology,2010,26(4). |
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| Authors: | CHEN Di-chun JIANG Bai-ling WU Wen-wen |
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