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| 基于微动刀架的超精密机床加工误差在位补偿技术 | |
| 作者姓名： | 米良 杨川贵 刘兴宝 夏仰球 唐强 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900;国家机床产品质量监督检验中心(四川),成都610200;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900;国家机床产品质量监督检验中心(四川),成都610200;南京理工大学发射动力学研究所,南京210094 |
| 基金项目： | 国防科工局科学挑战专题项目;国防科工局技术基础科研项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 超精密加工机床 超精密加工 误差补偿 误差检测 柔性铰链 |
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