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多注PPM聚焦系统中横向磁场的研究
引用本文:邓光晟,杨军,阮久福,吕国强,吴华夏,沈旭东.多注PPM聚焦系统中横向磁场的研究[J].真空科学与技术学报,2012,32(11):985-990.
作者姓名:邓光晟  杨军  阮久福  吕国强  吴华夏  沈旭东
作者单位:1. 省部共建现代显示技术国家重点实验室 合肥230009;合肥工业大学计算机与信息学院 合肥230009;合肥工业大学光电技术研究院 合肥230009
2. 省部共建现代显示技术国家重点实验室 合肥230009;合肥工业大学光电技术研究院 合肥230009
3. 省部共建现代显示技术国家重点实验室 合肥230009;合肥工业大学计算机与信息学院 合肥230009;合肥工业大学光电技术研究院 合肥230009;安徽华东光电技术研究所 芜湖241002
4. 安徽华东光电技术研究所 芜湖241002
摘    要:对多注周期永磁(PPM)结构中横向磁场的分布规律进行了研究,模拟分析了耦合槽的存在对不同电子注通道内横向磁场的影响,讨论了多注PPM结构中横向磁场的抑制方法,并对极靴饱和对各电子注通道的影响进行了分析.结果表明,多注PPM结构中通道孔内横向磁场随孔与耦合槽距离的减小而增大,而极靴饱和对通道孔的影响程度与孔和耦合槽的距离成正比.同单注PPM结构相比,增大多注PPM结构中铁制加载头半径对横向场抑制最为明显.

关 键 词:多注  周期永磁  横向磁场  饱和

Transverse Magnetic Field Distribution in Multi-Beam Periodic Permanent Magnet Focusing System
Deng Guangsheng,Yang Jun,Ruan Jiufu,Lv Guoqiang,Wu Huaxia,Shen Xudong.Transverse Magnetic Field Distribution in Multi-Beam Periodic Permanent Magnet Focusing System[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2012,32(11):985-990.
Authors:Deng Guangsheng  Yang Jun  Ruan Jiufu  Lv Guoqiang  Wu Huaxia  Shen Xudong
Affiliation:1.National Key Laboratory of Advanced Display Technology,Hefei 230009,China;2.School of Computer and Information,Hefei University of Technology,Hefei 230009,China;3.Academy of Photoelectric Technology,Hefei 230009,China;4.Anhui Huadong Photoelectric Technology Institute,Wuhu 241002,China)
Abstract:
Keywords:
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