涡轮分子泵的“内加热”除气法 |
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作者姓名: | 王福玖 王宝林 胡问悌 徐守义 洪尊福 王德苗 任高潮 储建国 姜祥祺 孙云龙 |
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作者单位: | 浙江大学(王福玖,王宝林,胡问悌,徐守义,洪尊福,王德苗,任高潮),复旦大学(储建国,姜祥祺),复旦大学(孙云龙) |
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摘 要: | 本文研究了涡轮分子泵的一种新颖除气法“内加热法”。详细介绍了此法的工作原理、装置结构、除气效果以及它对泵所产生的影啊。实践表明,这种除气法具有结构简单、操作方便、除气彻底、工作效率高、达到极限真空时间短并能实现快速制动等优点。
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