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| 非制冷红外探测器夹层厚膜工艺及介电性能研究 | |
| 引用本文： | 范茂彦,姜胜林,谢甜甜,张洋洋,张丽芳.非制冷红外探测器夹层厚膜工艺及介电性能研究[J].功能材料,2009,40(7). |
| 作者姓名： | 范茂彦 姜胜林 谢甜甜 张洋洋 张丽芳 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;玉溪师范学院,云南,玉溪,653100 2. 玉溪师范学院,云南,玉溪,653100 3. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2004CB619300);;新世纪人才支持计划基金资助项目(NCET-04-0703) |
| 摘 要： | 以钡、锶和锰醋酸盐为原料,采用新型溶胶-凝胶法制备锰掺杂4%mol、Ba/Sr分别为60/40、65/35和70/30的纳米粉体,均匀分散于组分相同的BST溶胶中,形成稳定的厚膜先体凝胶.浓度0.4mol/L钛酸钡凝胶薄膜种子层,作为不同组分厚膜之间的中间夹层.利用旋转涂覆工艺在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si复合底电极上,制备出厚度约为6～10μm的BST介电增强型夹层厚膜.XRD测试结果表明,650℃热处理2h后的夹层厚膜为单一钙钛矿相,750℃热处理后2h的夹层厚膜在室温、环境温度25℃、频率1kHz下相对介电常数εγ和介质损耗tanδ分别约为1200和0.03,室温25℃附近较宽范围介温变化率>1.2%/℃,BST夹层厚膜无裂纹出现,表面平整,致密,是制备大阵列非制冷红外焦平面阵列(UFPA)的优选材料. |
| 关 键 词： | 红外 新型sol-gel技术 LNo/Pt复合底电极 夹层厚膜 介电增强 |
Interlining thick film process and dielectric property of uncooled infrared detector |
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| FAN Mao-yan , JIANG Sheng-lin , XIE Tian-tian , ZHANG Yang-yang , ZHANG Li-fang.Interlining thick film process and dielectric property of uncooled infrared detector[J].Journal of Functional Materials,2009,40(7). | |
| Authors: | FAN Mao-yan JIANG Sheng-lin XIE Tian-tian ZHANG Yang-yang ZHANG Li-fang |
| Affiliation: | 1.Department of Electronic Science and Technology;Huazhong University of Science and Technology;Wuhan 430074;China;2.Yuxi Normal University;Yuxi 653100;China |
| Abstract: | |
| Keywords: | infrared new sol-gel process LNO/Pt composite bottom electrode interlining thick film dielectric reinforcement |
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