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EACVD中热阴极直流放电特性的实验研究
引用本文:姚东升,詹如娟.EACVD中热阴极直流放电特性的实验研究[J].核聚变与等离子体物理,1997,17(3):34-38.
作者姓名:姚东升  詹如娟
作者单位:中国科技大学近代物理系,中国科学院结构分析开放实验室
摘    要:本文针对EACVD过程中经常出现的放电振荡和不稳定现象,比较系统地研究了EACVD中热阴极直流放电特性及其与工艺参数之间的关系,分析和讨论了放电振荡和不稳定现象发生的原因,并给出了避免和控制的途径和措施。

关 键 词:放电振荡  稳流电源  等离子体  CVD  热阴极

EXPERIMENTAL STUDIES OF THE INCREASE OF SUSTAINMENT TIME OF RFP CONFIGURATIONS IN THE SWIP RFP DEVICE
ZHANG Peng FANG Shuiquan LI Jieping LUO Cuiwen,LI Qiang LUO Junlin HONG Wenyu.EXPERIMENTAL STUDIES OF THE INCREASE OF SUSTAINMENT TIME OF RFP CONFIGURATIONS IN THE SWIP RFP DEVICE[J].Nuclear Fusion and Plasma Physics,1997,17(3):34-38.
Authors:ZHANG Peng FANG Shuiquan LI Jieping LUO Cuiwen  LI Qiang LUO Junlin HONG Wenyu
Abstract:
Keywords:RFP experiment  ULQ discharge  Titanium gettering  Wall carbonizaiton  
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录!
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