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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
300KeVXe^2＋离子束诱导的金属／硅界反应
作者姓名：
毛思宁 刘家瑞
摘 要：
关 键 词：
离子束 金属－硅体系 界面 反应
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