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| 纳米压痕数字控制系统分析 | |
| 引用本文： | 高鹏,袁哲俊.纳米压痕数字控制系统分析[J].仪器仪表学报,1997,18(3):237-240,266. |
| 作者姓名： | 高鹏 袁哲俊 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机械工程系 |
| 摘 要： | 本文首先介绍了纳米压痕系统的结构及原理，然后着重对其控制系统进行分析，研究了控制参数的设置方法，分析了系统的稳定性，给出仿真结果，最后，分析了执行元件存在的误差，并给出了消除误差的方法。 |
| 关 键 词： | 纳米压痕 压电陶瓷 反馈控制 仿真 镀膜 |
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