| 超快脉冲激光沉积类金刚石膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 郭延龙,王小兵,万强,卢常勇.超快脉冲激光沉积类金刚石膜的研究进展[J].激光与光电子学进展,2005,42(7):22-25. |
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| 作者姓名： | 郭延龙 王小兵 万强 卢常勇 |
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| 作者单位： | 武汉军械士官学校光电技术研究所,武汉,430075;武汉军械士官学校光电技术研究所,武汉,430075;武汉军械士官学校光电技术研究所,武汉,430075;武汉军械士官学校光电技术研究所,武汉,430075 |
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| 摘 要： | 综述了脉冲沉积(PLD)类金刚石膜(DLC)的优势和局限，对其局限的补偿和突破，以及脉冲沉积法的重要发展方向——超快脉冲激光沉积(Ultra-fast PLD)类金刚石膜(DLC)的研究进展。
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| 关 键 词： | 超快脉冲激光(ultta-fast) 脉冲激光沉积(PLD) 类金刚石膜(DLC) |
| 收稿时间： | 2004/12/28 |
The development of Ultra-Fast Pulse laser Deposition of Diamond-Like Carbon Films |
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| GUO Yanlong,WANG Xiaobing,Wan Qiang,LU Changyong.The development of Ultra-Fast Pulse laser Deposition of Diamond-Like Carbon Films[J].Laser & Optoelectronics Progress,2005,42(7):22-25. |
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| Authors: | GUO Yanlong WANG Xiaobing Wan Qiang LU Changyong |
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| Abstract: | The advantage and limit of pulse laser deposition(PLD) of diamond-like carbon films(DLC), the remedy of PLD DLC limit, and the research on the next development of PLD DLC, ultra-fast pulse laser deposition of diamond-like films are summarized. |
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| Keywords: | ultra-fast pulse laser pulse laser deposition(PLD) diamond-like carbon films(DLC) |
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