光栅刻划中工作台过冲现象的改善 |
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作者姓名: | 王忠坦 倪争技 洪瑞金 黄元申 张大伟 |
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作者单位: | 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海,200093 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(61176085;11105149);国家科技支撑计划(2011BAF02804);国家重大科学仪器设备开发专项 |
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摘 要: | 在分度运动控制系统中以 DMC2210控制卡为核心,采用光栅尺为分度运动反馈器件,实现了高精度的实时监测反馈。针对工作台“过冲”现象进行了两方面的分析优化:一方面,分析了步进电机减速方式对刻划效果的影响,通过分段减速初步改善了工作台“过冲”现象;另一方面,分析并模拟了弹簧(联接工作台和分度丝杠螺母)刚度对工作台“过冲”问题的影响,更换大刚度弹簧后,很大程度改善了工作台“过冲”现象。改进后对光栅刻线密度为79 g/mm的中阶梯光栅进行了多次刻划试验,计算的机器分度精度均在5 nm以内,选取其中一组较好的数据(机器分度精度为2.887 nm)与之前多次刻划试验中较好的一组数据(机器分度精度为7.759 nm)进行了比较,结果表明刻划机分度精度得到很大的提高。
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关 键 词: | 光栅尺 过冲 弹簧刚度 分度精度 |
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