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| 迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析EI北大核心CSCD | |
| 引用本文： | 冯明春刘文清徐亮高闽光魏秀丽童晶晶李相贤陈军.迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析EI北大核心CSCD[J].光学学报,2015(4):352-357. |
| 作者姓名： | 冯明春刘文清徐亮高闽光魏秀丽童晶晶李相贤陈军 |
| 作者单位： | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院环境光学与技术重点实验室230031; |
| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ22064302)；国家自然科学基金(41105022；41305020)；中国科学院战略性先导科技专项(XDB050405000；XDB05050300) |
| 摘 要： | 从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发,分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响。由于存在镜面面形误差,干涉调制度不能达到理想情况下的100%,但其干涉调制度不能低于理想情况下的90%。通过分析和讨论,镜面面形误差最好控制在λ/14以内,干涉调制度才可能不低于90%,这样干涉仪才能保持比较满意的性能。同时,使用Zygo干涉仪对5组平面镜的平面度进行了测量,得到了这5组平面镜的峰-峰值和其他一些参数,通过分析测量结果,这5组平面镜的平面度都能达到干涉调制度的要求。通过对迈克耳孙干涉仪中平面镜面形误差的研究,这对于干涉光谱仪的设计、研制和性能的分析都具有一定的指导意义。 |
| 关 键 词： | 成像系统 迈克耳孙干涉仪 镜子 面形误差 调制度 |
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