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杂志ISSN号
侵彻武器用MEMS大G值加速度计
作者姓名:
屈新芬 杨晴 等
摘 要:
侵彻武器用大G值加速度计,不仅需要有较宽的加速度测量范围,还有较强的抗冲击能力。介绍利用MEMS技术研制出的可满足侵彻武器应用需求的集成大G值加速度计,通过分析工作原理、机械结构、信号处理线路的设计,针对实验结果提出了在实际工程应用中还需进一步解决的问题。
关 键 词:
MEMS 大G值加速度计 侵彻武器 微机电系统 电容式传感器
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