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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Cu/SU-8复合结构的高精度机械研磨
作者姓名:
田苗
周欣
陈舒静
张笛
瞿敏妮
毛海平
乌李瑛
摘 要:
由于其独特的厚度优势,SU-8经常在微加工领域被用作模具,通过电镀实现金属的大深宽比结构.但是,由于电镀的特殊性,其获得的金属结构表面往往需要进行研磨整平.对在SU-8大深宽比结构中电镀金属后形成的复合结构的研磨进行研究,设计并制备了 Cu/SU-8复合结构,并进行了一系列表面磨削实验,分析了复合结构的研磨机理和磨轮的...
关 键 词:
复合结构
电镀
研磨
SU-8
粗糙度
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