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| 薄膜传感器于智能制造的应用需求及发展初探 | |
| 引用本文： | 郇靖,陈思梦,吴正涛.薄膜传感器于智能制造的应用需求及发展初探[J].中国设备工程,2022(3):37-39. |
| 作者姓名： | 郇靖 陈思梦 吴正涛 |
| 摘 要： | 第四次工业革命已经悄然来临,我国也正面临着从制造大国向制造强国转变的历史性机遇.中国和国际制造业面临产业升级和革新,德国提出"工业4.0"计划,中国提出"中国制造2025"计划,其最核心的方面是智能化制造,不管是物联网还是数字化制造,最前端都将是智能化,所有这些智能化制造都离不开传感技术,面对智能制造产业的需求和技术挑... |
| 关 键 词： | 智能制造 薄膜传感器 结构功能一体化 工艺研究 物理气相沉积 |
