| 悬臂式RF MEMS开关的设计与研制 |
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| 引用本文： | 郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫.悬臂式RF MEMS开关的设计与研制[J].半导体学报,2003,24(11):1190-1195. |
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| 作者姓名： | 郭方敏 赖宗声 朱自强 贾铭 初建朋 范忠 朱荣锦 戈肖鸿 杨根庆 陆卫 |
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| 作者单位： | 华东师范大学信息科学和技术学院，华东师范大学信息科学和技术学院，华东师范大学信息科学和技术学院，华东师范大学信息科学和技术学院，华东师范大学信息科学和技术学院，华东师范大学信息科学和技术学院，华东师范大学信息科学和技术学院，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200062，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海200083，上海200062，上海200062，上海200062，上海200062，上海200062，上海200062，上海200050，上海200050，上海200083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);G1999033105; |
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| 摘 要： | 介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RF MEMS开关.在Cr/ Au CPW共面波导上,金/Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂,静电受激作为开关机理.当开关处于“关断”态,其隔离度小于- 35 d B(2 0～4 0 GHz) ;阈值电压为13V ;开关处于“开通”态,插入损耗为4～7d B(1～10 GHz) ,反射损耗为- 15 d B.另外,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系,并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟
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| 关 键 词： | 悬臂梁 插入损耗 隔离度 ANSYS软件 阈值电压 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)11-1190-06 |
| 修稿时间： | 2002年11月14日 |
Design of Micro Electro Mechanical System RF Switch |
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| Guo Fangmin ,Lai Zongshen ,Zhu Ziqiang ,Jia Ming ,Chu Jianpeng ,Fan Zhong ,Zhu Rongjin ,Ge Xiaohong ,Yang Genqing and Lu Wei.Design of Micro Electro Mechanical System RF Switch[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(11):1190-1195. |
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| Authors: | Guo Fangmin Lai Zongshen Zhu Ziqiang Jia Ming Chu Jianpeng Fan Zhong Zhu Rongjin Ge Xiaohong Yang Genqing and Lu Wei |
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| Affiliation: | Guo Fangmin 1,3,Lai Zongshen 1,Zhu Ziqiang 1,Jia Ming 1,Chu Jianpeng 1,Fan Zhong 1,Zhu Rongjin 1,Ge Xiaohong 2,Yang Genqing 2 and Lu Wei 3 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cantilevered arm low loss isolation finite cell analysis threshold voltage |
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