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| 用于图像传感器制造的光刻技术 | |
| 作者姓名： | Geoffrey Phillipps Rudy Pellens |
| 作者单位： | ASML Netherlands B.V，ASML Netherlands B.V |
| 基金项目： | 致谢 清华大学微电子学研究所的朱钧教授指导了本文的审译.作者在此特别致谢. |
| 摘 要： | 引言任何一种数字成像的核心都是图像传感器。它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵。数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长,它们已成为主要IC制造商大量生产的产品之一。制造成像阵列通常采用两种主要的工艺技术——电荷耦合器件(CCD)和CMOS图像传感器(CIS)。在形成工艺层次组合和电学设计方面,这两种技术有很大差别。但是,两者都需要优化,以俘获到达的光线,并将其更有效地转化为电信号。CCD器件在象素区把光子转换为电荷。CIS器件则可以看作为改进的存储器单元,每一单元包含一个可以产生… |
| 关 键 词： | 图像传感器 制造商 光刻技术 数码相机 数字成像 像素矩阵 需求市场 光转换 |
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