| AlxGa1-xN日盲紫外探测器及其焦平面阵列 |
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| 引用本文： | 赵文伯,赵红,叶嗣荣,黄烈云,唐遵烈,罗木昌,杨晓波,廖秀英,向勇军,邹泽亚.AlxGa1-xN日盲紫外探测器及其焦平面阵列[J].半导体光电,2009,30(1):21-24. |
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| 作者姓名： | 赵文伯 赵红 叶嗣荣 黄烈云 唐遵烈 罗木昌 杨晓波 廖秀英 向勇军 邹泽亚 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 报道了320×256元AlxGa1-xN日盲型紫外探测器及其焦平面阵列探测器的研制情况,介绍了材料生长、器件制备工艺和器件的光电特性.器件的开启电压大于3.5 V,-0.5 V偏压时暗电流小于1.2×10-12A(φ=300 μm台面),光谱响应范围260～280 nm,268 nm峰值波长的响应度大于0.095 A/W.器件实现了日盲紫外成像演示.
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| 关 键 词： | AlxGa1-xN 日盲探测器 紫外焦平面阵列 pin光电二极管 |
Solar-blind Photodetectors and Focal Plane Arrays Based on AlxGa1-xN |
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| ZHAO Wen-bo,ZHAO Hong,YE Si-rong,HUANG Lie-yun,TANG Zun-lie,LUO Mu-chang,YANG Xiao-bo,LIAO Xiu-ying,XIANG Yong-jun,ZOU Ze-ya.Solar-blind Photodetectors and Focal Plane Arrays Based on AlxGa1-xN[J].Semiconductor Optoelectronics,2009,30(1):21-24. |
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| Authors: | ZHAO Wen-bo ZHAO Hong YE Si-rong HUANG Lie-yun TANG Zun-lie LUO Mu-chang YANG Xiao-bo LIAO Xiu-ying XIANG Yong-jun ZOU Ze-ya |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AlxGa1-xN |
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