超精密静压支承部件及其在超精密加工机床的应用 |
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引用本文: | 胡秋,夏仰球,米良,李梦阳. 超精密静压支承部件及其在超精密加工机床的应用[J]. 机床与液压, 2015, 43(22): 4-6 |
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作者姓名: | 胡秋 夏仰球 米良 李梦阳 |
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作者单位: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
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基金项目: | 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重点资助项目(K855;K856) |
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摘 要: | 超精密加工技术与装备在近年得到极大发展。超精密静压部件是超精密加工装备关键共性部件。以平面气体静压支承为例,介绍了静压支承基本工作原理。对超精密液体/气体静压主轴、导轨和转台的结构特点、技术特性、应用场合作了较全面的介绍;以典型超精密加工机床为例,介绍静精密静压主轴、导轨和转台在超精密加工机床中的应用。
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关 键 词: | 静压支承;超精密静压部件;超精密加工机床;应用 |
Ultra Precision Hydrostatic Bearing Components and Its Application in Ultra Precision Machine Tools |
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