波导的溶胶-凝胶工艺 |
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引用本文: | 吴晓雯.波导的溶胶-凝胶工艺[J].激光与光电子学进展,2003,40(5):43-51. |
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作者姓名: | 吴晓雯 |
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摘 要: | 对于光学波导与导波设备、电路的制造而言,溶胶-凝胶工艺的出现不失为一种有效途径。特别是集成光学有源器件及电路中掺活性掺杂物(如钕、铒、铈)。本文回顾了基于溶胶-凝胶工艺的有源器件、电路的最新研究。对于光学放大器中的激活溶胶-凝胶薄膜的模拟分析,我们提出激光器原子磁化理论及其速率方程,适当考虑了波导参数。采用波束传播法研究激活掺杂溶胶-凝胶薄膜设备(如直线波导、丫形支管、定向耦合器)的传播及增益特性。也在研究掺铈薄膜中布拉格光栅的形成,在微电机系统(MEMS)的未来应用也在研究中,可采用溶胶-凝胶工艺形成光层.并通过机械作用加以控制。
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关 键 词: | 溶胶-凝胶工艺 光学放大器 模拟分析 激光器 原子磁化理论 波导 布拉格光栅 微电机系统 集成光学 |
收稿时间: | 2002/8/30 |
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