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1.
采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
2.
3.
新型高k栅介质材料研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
随着半导体技术的不断发展,MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)的特征尺寸不断缩小,栅介质等效氧化物厚度已小至nm数量级。这时电子的直接隧穿效应将非常显著,将严重影响器件的稳定性和可靠性。因此需要寻找新型高k介质材料,能够在保持和增大栅极电容的同时,使介质层仍保持足够的物理厚度来限制隧穿效应的影响。本文综述了研究高k栅介质材料的意义;MOS栅介质的要求;主要新型高k栅介质材料的最新研究动态;展望了高k介质材料今后发展的主要趋势和需要解决的问题。 相似文献
4.
高晓梅 《水利水电工程设计》2002,21(4):1-4
永定新河是天津市防洪的北部防线。由于受海相来沙淤积 ,河道行洪能力大幅度下降。针对永定新河治理工程设计中涉及到的河道淤积治理方案、闸位比选、防潮闸结构型式及施工方法、闸下减淤清淤措施等诸多问题进行了分析和研究 ,提出了相应的措施和建议 相似文献
5.
水电站泄水道破坏修复工程,是一项风险高、难度大、前景广阔的系统工程。刘家峡水电站泄水道2号孔破坏修复的关键,是采用人工深水软导向浮体闸门封堵孔口,形成门后洞内旱地施工条件;龚嘴水电站10号冲砂底孔破坏修复的关键,增设浮体闸门采用自动潜行式浮体闸门封堵孔口,形成门后洞内旱地施工条件;哈萨克斯坦CHARDARA水电站SYNAS项目泄水底孔修复的关键,采用分次降水安装浮体闸门侧支承的方法,挡住引水发电机组的下游尾水,在泄水道进口检修门和流道出口之间形成门旱地施工。此3项泄水道修复工程在行业内没有先例,难度很大。整体方案具有创新性,并且均已高质量竣工并投入正常运行。 相似文献
6.
7.
可编程光学二值双轨逻辑门 总被引:1,自引:0,他引:1
基于双轨逻辑,本文提出一种可级联的并行二值逻辑门。所有十六种二值逻辑运算可以采用偏振半波相延编程来实现。也提出了用电光晶体实现实时编程的方法。本文中给出了实验结果。 相似文献
8.
简要介绍了在引进支撑环境下独立开发的专用CAD系统应用软件-“液压启闭机CAD系统”的运行环境、结构特点,主要功能模块的功能、开发过程中碰到的关键技术难点及解决办法。 相似文献
9.
门式脚手架在已建高层建筑外装修中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍门式脚手架在已建高层建筑外排栅中的整体搭设和应用实例。 相似文献
10.
做好闸坝定期巡检确保安全运行 总被引:1,自引:0,他引:1
根据国家电力监管委员会《水电站大坝运行安全管理规定》和《混凝土大坝安全监测技术规范》对巡视检查工作的具体要求,结合映秀湾水力发电总厂所辖三座闸坝运行的实际,阐述闸坝安全巡视工作的作用及应重点做好的定期检查及日常巡检工作的内容和要求. 相似文献