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学科分类
工业技术
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2018年
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1
1.
全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化
李欢
杨成奥
谢圣文
黄书山
柴小力
张宇
王金良
牛智川
《红外与毫米波学报》
2018,37(2):140-143
成功制备出室温激射波长为2 μm的GaSb基侧向耦合分布反馈量子阱激光器.采用全息曝光及电感耦合等离子体刻蚀技术制备二阶布拉格光栅.优化了光栅制备的刻蚀条件,并获得室温2 μm单纵模激射.激光器输出光功率超过5 mW,最大边模抑制比达到24 dB.
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