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1.
本文从三级像差理论出发,推导了几种工艺球面检验凸二次曲面的计算公式。根据这些公式计算结果,进行了光路追迹,给出了这些公式对凸二次曲面的补偿范围;并讨论了几种特殊情况下的平面解。 相似文献
2.
3.
《表面技术》2007,36(3):9-9
本发明涉及非球面加工技术。要解决大口径高精度超光滑非球面加工非常困难,而且加工周期长、成本较高的问题。本发明在溅射功率及工作气体压强一定的条件下,首先对靶材的沉积速率进行定标,再根据球面和非球面的差异量,利用沉积速率确定出转盘公转机构的速度,通过控制球面基底上各点经过溅射靶材的公转速度,从而控制球面基底上各点在溅射镀膜区的停留时间T,在球面基底镀制出的按一定空间分布的膜层厚度,则制成所需要非球面面形。解决了传统数控和应力盘抛光等问题,提供了一种表面粗糙度低、精度高、加工周期短、成本低的大口径高精度超光滑非球面制备方法。本发明适用于大曲率半径、小偏移量和大口径的高精度超光滑非球面加工。 相似文献
4.
半导体激光器能量转换效率高、体积小、稳定性好,因此激光雷达常以半导体激光器作为光源。针对半导体激光发散角大,而传统的分离式双柱面准直透镜组存在装调误差大、结构复杂、稳定性低的缺点,提出一体化非球面柱透镜准直方案,分别在两面的相互正交的两个方向设计不同的面型,压缩发散角,同时实现半导体激光器快慢轴两个方向的准直。根据费马原理及扩束准直理论初步确定两正交方向准直面面型参数,以最小光斑半径和最大光通量为目标,以MEMS微镜尺寸为限制因素进行优化,最终完成发射端光学设计。准直后光束快轴发散角2 mrad,慢轴发散角9.6 mrad,准直效果接近车规级激光雷达的平均角分辨率,透镜体积为10×10×24 mm~3,发射端系统总长40 mm,系统通光率大于98.6%,满足MEMS-LiDAR对光源准直度、发射端系统集成度和稳定性的要求。 相似文献
5.
6.
7.
王文生 《长春理工大学学报(自然科学版)》1997,(4)
本文用He-Ne激光器作光源,由泰曼—格林干涉仪,电视摄相机和微机组成泰曼—电视—微机系统,利用法线象差补偿法检测非球面的原理,根据三个干涉留法,自动地扫描,分析了非球面,其二维等高线和三维面形在计算机监示器上画出。并设计了准万能补偿器以扩大其检测范围,可用于检测一定范围的抛物面,椭圆面和双曲面。补偿精度高于0.01λ。 相似文献
8.
本文利用法线象差补偿法检测非球面面形的理论,研究了准万能补偿器的设计方法,根据Ⅲ级象差理论,通过一实例计算并用光学设计软件优化得到一组准万能补偿器的透境结构参数。该补偿器可用于泰曼-格林干涉仪中,检测一定范围的抛物面,椭圆面和双曲面,其补偿精度达到0.01λ。 相似文献
9.
PFEIFERT SCHMITTR DOERNERD SCHNEEFUBK 《纳米技术与精密工程》2004,2(4):308-313
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器件,宜应用干涉法进行形状检测,因为干涉法有极高的精度和适应性,此外,表面可被迅速检测,因而减少生产时间.但是干涉法对机器振动、噪声或空气扰动等外界影响十分敏感,因而很难在生产环境中完成干涉测量.提出了在机械加工环境中的干涉测量和基于对在位干涉检测中各种基本干涉影响分析结果基础上的仿真. 相似文献
10.
为获得能在2π空间发光的理想点光源,本文提出了一种特殊光学系统,介绍了这种系统的工作原理、设计方法和设计结果。 相似文献