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1.
采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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5.
随着广电事业的飞速发展,广播电视正成为人们生活中重要的一部分.保证广播电视设备的优质运行是每个广播电视工程技术人员的首责.在日常的维护与检修过程中有许许多多的宝贵经验值得加以总结.下面本人以北京广播器材厂生产的CSD-IV/V-1A型分米波1kW彩色电视发射机的一次故障为实例加以分析并解决.以供同行作为参考. 相似文献
6.
新型高k栅介质材料研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
随着半导体技术的不断发展,MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)的特征尺寸不断缩小,栅介质等效氧化物厚度已小至nm数量级。这时电子的直接隧穿效应将非常显著,将严重影响器件的稳定性和可靠性。因此需要寻找新型高k介质材料,能够在保持和增大栅极电容的同时,使介质层仍保持足够的物理厚度来限制隧穿效应的影响。本文综述了研究高k栅介质材料的意义;MOS栅介质的要求;主要新型高k栅介质材料的最新研究动态;展望了高k介质材料今后发展的主要趋势和需要解决的问题。 相似文献
7.
针对XK5--6/90型电瓶车制动装置不合理导致在运行中制动装置调节器、制动闸瓦等部件在井下泥水的浸泡下,锈蚀严重、无法调整、刹车不灵活.容易掉道等,造成断轴及其它部件的严重损坏,无法正常工作的问题,进行了合理的改造。 相似文献
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HDY系列逆变式恒电位仪由石油大学石仪科技实业发展公司研制成功 ,选用绝缘栅双极晶体管 (IG BT)作为主开关器件 ,采用脉宽调制的控制方式 ,可广泛应用于长距离输油、输气管道 ,大型储油罐等地下金属结构外加电流的防腐蚀保护。该仪器于2 0 0 0年 4月通过山东省科委组织的鉴定 ,认为其研究成果填补了国内空白 ,在同类产品中属国内领先水平。这种产品是磁放大器式、晶闸管式等传统恒电位仪理想的更新换代产品。1 基本工作原理HDY系列逆变式恒电位仪的原理如图 1所示 ,单相或三相交流经整流器变为直流电压E ,E经逆变器又变为 2 0… 相似文献
10.
联栅晶体管(GAT)是一种介于双极型晶体管和结型场效应晶体管之间的电流控制型电力电子器件。本文介绍了GAT的结构、特点及其应用。 相似文献