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多光点扫描数字光刻制作DOE的方法研究 总被引:3,自引:1,他引:2
在DMD(Digital Micromirror Device)数字光刻系统中使用微透镜阵列聚焦可在像面获得灰度点阵图形,若曝光的同时基底按预设计的方式同步扫描,则可形成所需求的曝光场分布.这一方法用于衍射微光学元件(DOE)制作,可方便快捷获得高质量的连续面形微结构.文中通过对扫描方式的分析和计算,给出了适于菲涅耳微透镜制作的基片台扫描参数和模拟结果,为用该系统进行DOE实际制作提供了依据. 相似文献
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新研制成功的、工作于液氮温度下的高临界转变温度超导量子干涉器(以下简写成为高Tc RF—SQUID),加上磁聚焦器之后,测量磁场的灵敏度已达10~(-12)T(10~(-(?)G).在国家地震局的零磁实验室中,我们用这样的RF—SQUID,初步地测得了与心脏跳动及手指动脉血流有关的人体磁信号. 相似文献
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大型仪器设备的集中管理与开放共享 总被引:6,自引:2,他引:6
介绍大型仪器设备集中管理的必要性,及分层次建立实验中心来集中管理的方案,分析开放共享后带来的各种效益。 相似文献
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混凝土施工阶段温度裂缝产生的原因及预防措施 总被引:1,自引:0,他引:1
表面温度裂缝多发生在施工期间,一般表现为走向无一定规律性;梁板类或长度尺寸较大的结构构件,裂缝多平行于短边;大面积结构裂缝常纵横交错。深进的和贯穿的温度裂缝,一般与短边方向平行或接近于平行,裂缝沿全长分段出现,中间较密。裂缝宽度一般在0.5mm以下,沿全长没有多大变化。 相似文献
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中国与外国双钢轮振动压路机的主要差距 总被引:1,自引:0,他引:1
对国内外双钢轮振动压路机进行了对比试验和性能检测。结果表明:中国产双钢轮振动压路机与国外同类产品相比的主要差距是振幅沿振动轮横向分布均匀性超过5%、起步和停车时的瞬时功率超过额定值,减振与降噪指标不能完全达到国标要求,并导致两者工作可靠性和作业质量的差异。指出双钢轮振动压路机为大惯量循环作业式机械,起步和停车时间短,应错开起步和起振时功率峰值的发生时间;振幅和压实均匀性是对振动压路机作业质量的基本要求,应使振动轮的激振力通过其质心,减振和噪声必须符合环保要求。 相似文献
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多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计算多束SPPS干涉光刻成像的仿真软件.模拟和分析表明,该模型及软件计算准确、快速,达到预期效果,为实现无掩模SPPs干涉光刻全过程模拟和曝光实验研究的开展提供了技术支撑. 相似文献
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分别就滑模成型路面的粗集料含量、密度、表面孔隙率和抗压强度内部质量指标与振动密实加速度的关系进行了试验、理论分析和统计回归分析,并给出了滑模摊铺振动密实的新的判定参数和准则。 相似文献
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