测量时延在线估计与批间控制器协同设计

批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.     

含随机测量时延的EWMA批间控制器设计

批间控制(RtR)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法. 然而, 受测量手段与测量成本的限制, 难以实时检 测晶圆的品质数据, 即: 存在一定的测量时延, 通常该测量时延是随机, 时变的, 且直接影响批间控制器的性能. 为 此, 本文基于指数加权移动平均(EWMA)算法, 提出一种含随机测量时延的扰动估计方法. 在分析测量概率的基础 上, 建立包含测量时延概率的扰动估计表达式; 并采用期望最大化(EM)算法估计该测量时延的概率; 然后分析系统 可能存在的静差项, 给出相应的补偿算法; 最后讨论系统的稳定性. 仿真实例验证所提算法的有效性.     

基于ADE7758的电网监测仪表设计

在介绍ADE7758多功能芯片特性的基础上，提出一种新型电网监测系统设计方案。该方案以计量芯片ADE7758进行硬件电路设计，以C8051F020单片机作为系统处理器设计了相应的测量系统软件，并对ADE7758的校准进行了研究。用三相精密测试电源对系统的测量精度进行了实验论证。实验结果表明：该仪表具有较高的测量精度，可以满足电能测量的精度要求以及电力设备实时监控方面的要求。     

IDE接口硬盘物理故障分析处理

硬盘接口可分为IDE、SATA、SCSI和光纤通道四种,其中IDE接口的硬盘多用家庭使用,本文将介绍IDE接口的硬盘在使用时间长,出现物理故障时,作为维护人员,要快速准确的排除硬盘物理故障,除掌握必要的基本理论外,还需具备一定的检修方法和故障处理技巧。本文从硬盘的物理故障分类入手,分析了计算机发生物理故障的原因,介绍了常用的维修方法。     

谐波分析的改进双峰谱线算法

加窗插值FFT是电力系统谐波分析常用算法,在此基础上的双峰谱线算法能够有效改善谐波数据准确度.但是该算法的分析精度很大程度上取决于信号频率校正系数α的计算精度,本文利用专用电能计量芯片ATT7022B准确测量出基波频率,在此基础上推导出α的简化算式,极大地降低了双峰谱线算法的计算量,并利用多项式逼近获得了幅值修正的计算公式,显著提高了谐波分析精度.最后通过仿真和实验结果验证了本文改进算法的有效性与易实现性.     

Effects of heavy ion irradiation on ultra-deep-submicron partially-depleted SOI devices

The effects of the physical damages induced by heavy ion irradiation on the performance of partially-depleted SOI devices are experimentally investigated. After heavy ion exposure, different degradation phenomena are observed due to the random strike of heavy ions. A decrease of the saturation current and transconductance, and an enhanced gate-induced drain leakage current are observed, which are mainly attributed to the displacement damages that may be located in the channel, the depletion region of the drain/body junction or the gate-to-drain overlap region. Further, PDSOI devices with and without body contact are compared, which reveals the differences in the threshold voltage shift, the drain-induced barrier lowing effect, the transconductance and the kink effect. The results may provide a guideline for radiation hardened design.     

改进声辐射模态模型求解具有位移自由度板声功率灵敏度

利用改进的声辐射模态模型处理声辐射,利用有限元振动模型处理结构振动,提出一种新的研究具有位移自由度板的声辐射灵敏度求解方法。以四边简支的具有位移自由度板作为数值算例,结果表明该方法是可行的。     

利用ADM方法设计振动梁的体积位移传感器

提出了一种用来测量任意边界振动梁的体积位移传感器设计方法.利用压电材料聚偏氟乙烯(PVDF)良好的压电性能,通过基于Adomian分解(ADM)法,求出任意边界梁的结构模态形状2阶空间导数的闭环级数解,通过模态法设计出特殊形状的PVDF传感器,使PVDF输出信号为所需要的振动梁体积位移.结果表明,在有限频率范围内,基于ADM法设计任意边界条件振动梁结构的PVDF体积位移传感器是可行的.     

AC980临床电解质分析仪的研制

针对国产独立临床电解质分析仪普遍存在管路易堵塞、数据处理能力较弱等问题,本文提出基于ARM7处理器,采用电磁阀的新型AC980电解质分析仪,并利用多状态、多任务、多线程的编程方法。该仪器测量精度高,操作人性化,符合临床检测的要求。     

含随机测量时延的批间控制器设计

批间控制(Rt R)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法.然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定的测量时延,通常该测量时延是随机,时变的,且直接影响批间控制器的性能.为此,本文基于指数加权移动平均(EWMA)算法,提出一种含随机测量时延的扰动估计方法.在分析测量概率的基础上,建立包含测量时延概率的扰动估计表达式;并采用期望最大化(EM)算法估计该测量时延的概率;然后分析系统可能存在的静差项,给出相应的补偿算法;最后讨论系统的稳定性.仿真实例验证所提算法的有效性.