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学科分类
工业技术
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2018年
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1.
钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势
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陈艳芳
谢敬佩
王爱琴
马窦琴
杨康
郭惠丹
《粉末冶金技术》
2018,36(5):393-398
钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域。本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望。
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