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通过检测原子团离于MCs 和MAs-(M是基体元素)对AlxGa1-xAs基体组分进行了定量的分析,考察了MIQ-156SIMS上所测这些原子团离子的能量分布及其对分析结果的影响,并对正、负SIMS测量方法做出比较。 相似文献
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在有与没有Ar 同时轰击的条件下,研究了GaAs中Ga 2次离子发射的氧效应。对吸附在表面上的氧以及反弹注入到表面内的氧引起的Ga 二次离子产额增强效应进行了实验研究,同时测量了氧分压强对Ga 二次离子能量分布的影响。实验结果表明:注氧后Ga 二次离子能量分布变窄且最可见能量向低能端移动2~3eV,说明氧对低能Ga 二次离子的增强作用更强,这可以用断键模型来解释。 相似文献
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本讨论了用MIQ-156四极SIMS仪器对AlxGa1-xAs中Si进行定量分析的实验方法,考察了测量结果的重复性及x变化时SiRSF的变化规律,在IMS-4fSIMS仪器上进行了对比测试,用Cs^+源对^29Si的原子检测了限达到了4×10^15cm^-3。 相似文献
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评述了国际上δ掺杂样品SIMS分析的现状,研究了相关的基础实验技术,讨论了分析硅δ掺杂的AlGaAs样吕时,选择高质量分辨及对不同一次离子参量下相对灵敏度因子进行校准的必须性,考察了一次束的展宽效应的δ掺杂层位置的微分飘移,对硅δ掺杂的AlGaAs样品用O2^+源进行了定量分析,并对结果作了讨论。 相似文献
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评述了国际上δ掺杂样品SIMS分析的现状,研究了相关的基础实验技术,讨论了分析硅δ掺杂的AlGaAs样品时,选择高质量分辨及对不同一次离子能量下相对灵敏度因子进行核准的必要性,考察了一次束的展宽效应和δ掺杂层位置的微分飘移,对硅δ掺杂的AlGaAs样品用O源进行了定量分析,并对结果作了讨论。 相似文献
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通过检测原子团离子MCs^+和MAs^-(M是基体元素)对AlxGa1-xAs基体组分进行了定量的分析,考虑了MIQ=156SIMS上所测迷些原子团离子的能量分主其对分析结果的影响,并对正、负SIMS,测量方法做出比较。 相似文献