排序方式: 共有7条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定,但是液面易受环境影响,重复性难以提高,因此标定精度往往不高。针对这一难题,利用Fizeau干涉仪,采用液面方法对平面的power项单独进行绝对标定,结合旋转平移绝对标定方法对平面其他Zernike项进行标定,从而得到了完整的高精度的平面绝对标定。不仅提高了检测精度,也对平面进行了完整的高精度标定,大大提高了干涉仪的检测精度。 相似文献
2.
设计了一款口径为30.48cm高精度斐索激光干涉仪参考镜,其F数为0.82,参考面半径为224.99mm。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为0.095λ,均方根值为0.028λ,透射波前斜率最大值为11μrad。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响,其最大值为0.29nm。利用Zemax光学设计软件对参考镜进行了仿真分析,仿真与实验结果表明,该标准镜头可满足精度1nm的元件面形检测需求。 相似文献
3.
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法的丢失面形。推导了理论计算公式,仿真分析了存在旋转角度和偏心误差时,补偿算法的有效性以及附加旋转角度对补偿面形计算精度的影响。验证实验的结果与仿真相符,表明在选择合适的附加角度之后,该算法可有效补偿丢失信息。与旋转平均法相比,只需增加一次旋转,就能得到更完整的面形,极大地提高了检测效率和精度,实验中补偿率达到61%,检测精度提高了约1倍。 相似文献
5.
基于CDM升压单元的高增益Boost变换器 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种具有n(n≥2)倍传统Boost变换器电压增益的高升压Boost变换器,该变换器由2个基本的Boost单元和n-1个由电容、二极管组成的CDM升压单元构成,2个有源开关采用交错控制。该变换器可实现n倍增益变换,避免了在高升压应用场合出现极大占空比;由于采用交错控制,输入电流纹波频率是开关频率的2倍,纹波峰峰值得到降低,因此可减小输入滤波器的体积;有源开关及二极管的电流应力低,因此可选择低耐压的器件以进一步提高变换效率;2个Boost单元能实现自动均流,不需任何有源均流控制。首先对变换器的拓扑推演过程进行了详细阐述,然后以4倍增益高升压Boost变换器为例分析了该类变换器的工作原理及性能特点,最后搭建了一台额定输出功率为300W的实验样机,实验结果验证了理论分析的正确性。 相似文献
6.
7.
1