基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜

设计并制造了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜,此变形镜采用了三个多晶硅结构层和一个金属反射层的设计.利用表面硅工艺完成了变形镜的加工,结合有限元分析软件和白光干涉仪对三种不同驱动器电极空间分布方式的静电排斥型变形镜进行了分析和研究.测试结果表明,静电排斥型变形镜在200V下能实现1.7 μm以上的位移,冲程较传...     

谈谈双自由度制样粉碎机的研制

本文介绍了采用双自由度的减振原理，新设计的制样粉碎机，具有体积小，质量轻，能耗少，电机寿命长，价格低，隔振效果好等优点。     

潮流优化的需侧求管理模型

本文在回顾了电力系统需求侧管理的基本内容和潮流优化的基本原理之后,使用动态潮流优化考虑中在断负荷管理,提出了潮流优化的需求侧管理模型,并分析了这种模型的合理性.     

化学法除油技术在轧钢含油污水处理中的应用

介绍了马钢第三轧钢厂热带车间含油污水处理的现状及系统改造情况，应用化学 法除汕技术处理该种污水，处理后水质ｓｓ≤４０ｍｇ／１，油≤１０ｍｇ／１．     

静电驱动连续面形微机电系统变形镜的制作

基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用ZygoNewView7300白光干涉仪对样片的静态特性和动态响应特性进行了测试。静态测试结果表明,器件在150 V电压下的最大形变量为0.667μm,相邻单元之间的交联值为9%,镜面位置重复性为10%。动态测试结果表明,器件对正弦驱动信号的响应时间小于30μs,响应曲线近似为一条余弦曲线,谐振频率为36 kHz。该变形镜可用于自由空间光通信、激光光束整形、波前畸变校正、投影显示、生物医学成像和人眼视差校正等重要领域。     

新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)

设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式.在向上驱动时,4个杠杆结构实现了位移的放大;向下驱动时,利用了非线性弹性系数法扩展了镜面的平动范围.采用表面硅工艺完成了变形镜的加工.通过白光干涉仪对变形镜的测试表明:在向上驱动模式下,变形镜在驱动电压为31 V时位移达到1.1μm;在向下驱动模式下,变形镜在6 V的驱动电压下位移达到1.1μm.变形镜的总行程为2.2μm,达到了同样工艺下传统变形镜的3倍左右.     

防止开关合闸线圈烧毁的改进措施

分析了无人值班变电站内开关合闸下不成使合闸线圈烧毁的原因，并介绍了线路保护合闸控制回路自动断开接线的原理及改进方法。