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微型阀是微流体测量系统的重要组成部分,本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀,分析了该材料性能,叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程,并讨论了加工过程中的一些关键技术。 相似文献
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用溶剂萃取法从甲基萘油中萃取吲哚.主要研究了不同溶剂、溶剂比、萃取温度、萃取时间和萃取级数对BO3和DMNO的吲哚萃取率的影响,结果表明,两种甲基萘油均采用正庚烷-三甘醇作萃取剂效果较好,BO3:三甘醇:正庚烷=1:1:2、DMNO:三甘醇:正庚烷=2:1:2为佳,萃取温度为30~40℃时较好,萃取理论级数取N=10比较适合,但萃取时间对BO3、DMNO的吲哚萃取率的影响较小.在对常规的双溶剂萃取研究的基础上,提出了吲哚加盐萃取方法.结果表明,在吲哚萃取过程中加入NaSCN和CH3COOK,不但能降低非极性物质在极性溶剂中的溶解度,提高吲哚的萃取选择性,而且还能够提高吲哚的萃取率. 相似文献
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SIT的原理 SIT(Static Induction Trans-istor)器件是微电子技术和电力技术融合起来的新一代电力电子器件,其优点是不仅可以控制很大的输出功率,而且工作频率大大增加。综合了BJT和VDMOS的优点,而比BJT的工作频率高,比VDMOS的饱和压降小。将其应用于电 相似文献
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利用微机械可变电容作为频率调节元件,制备了一种中心频率为2GHz的 LC VCO.微机械可变电容的控制极板与电容极板分离,并采用表面微机械工艺制造,在2GHz时的Q值最高约为38.462.MEMS VCO的测试结果表明,偏离2.007GHz的载波频率100kHz处的单边带相位噪声为-107.5dBc/Hz,输出功率为-13.67dBm.对微机械可变电容引起的机械热噪声以及减小空气压膜阻尼来降低相位噪声的方法进行了讨论,提出了一种优化阻尼孔数目的方法. 相似文献
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采用CCl_2F_2/O_2的高深宽比硅槽的刻蚀 总被引:2,自引:0,他引:2
本文通过实验和对样品上钝化层成分的分析,提出了CCl2F2/O2混合气体对单晶硅的各向异性刻蚀机理:在一定功率下,CCl2F2离解出大量的CFx粒子和Cl粒子,在前者对样品的轰击下后者与轰击出的Si原子反应生成挥发性的SiCl4,产生刻蚀.O2的加入一方面形成钝化层SixOyFz保护侧壁,另一方面通过消耗CFx粒子减少其与Cl粒子的再结合而达到加速目的.探讨了在一定条件下压力和ICP功率对刻蚀速率和各向异性的影响.在大量实验的基础上优化各刻蚀参数,在ICP790设备上刻出了宽3μm,深16μm的窄槽, 相似文献
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