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A Novel Analytical Approach for Multi-Layer Diaphragm-Based Optical Microelectromechanical-System Pressure Sensors 下载免费PDF全文
An optical microelectromechanical-system (MEMS) pressure sensor based on multi-layer circular diaphragm is described and analysed by using the proposed novel analytical approach and the traditional transfer matrix method. The analytical expressions of the deflection of multi-layer diaphragm and absolute optical reflectance are derived respectively. The influence of residual stress on the deflection of diaphragm is also analysed. Simulation results given by the finite element method are consistent with the ones which are analysed by using the analytical approach. The analytical approach will be helpful to design and fabricate the optical MEMS pressure sensors with multi-layer diaphragm based on Fabry-Perot interferometry. 相似文献
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一种新型的光电混合多项式求值并行处理系统 总被引:1,自引:1,他引:0
本文提出了一种新型的并行求解多项式值的光电混合数字计算系统。系统中,我们采用了一种新的自由空间互连网络:逆全混洗互连,并用一特殊的组合棱镜和向列型液晶空间光调制器配合,在光学上实现了逆全混洗互连。 相似文献
3.
全混洗交换Omega互连网络的光学实现 总被引:10,自引:6,他引:4
本文提出了一种由左、右全混洗和空间光开关列阵组成的等效Omega网络;成功地设计了一种实现全混洗互连的低损耗,等程的光学组合棱镜.由两块光学组合棱镜和空间光开关列阵组合成的光学系统实现了全混洗交换光学互连网络,该光学互连网络已在实验中得到了证实. 相似文献
4.
本文从半经典理论出发,对有源双稳放大器进行了稳定性分析,其结果表明:有源双稳器件远较无源器件易产生正沿不稳定性。在此基础上,我们讨论了有源E-P型双稳开关器件的实用开关速度的极限,实验中我们采用两个InGaAsP/InP双异质结单纵模激光器观察到了全光型开关现象。 相似文献
5.
光电混合MESH互连网络的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
提出一种自由空间空分复用的光学MESH互连网络系统.该光学MESH互连网络系统是由N×4位相型计算全息傅里叶光栅分束器、高速多量子阱空间先调制器SEED器件和高速间接耦合光电探测器列阵组成,具有互连数大、数据通道同步性好、光学硬件少、系统简单等特性. 相似文献
6.
提出了一种新型的无冲突4端口榕树型开关网络。采用液晶列阵及偏振棱镜、三角棱镜、波片等光学元件,在光学上实现了这种网络,得到了由4端进到4端出的24种全排列方式。 相似文献
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