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本文采用椭圆偏振光谱法研究了剂量为1×1016—3×1012cm-2的As+注入硅,及其在700℃退火后的光学性质。得出:当As+注入剂量增大到某一程度后,便呈非晶特性。低于临界剂量的样品,其n-λ,ε2-λ关系曲线随剂量的增大而往下方移动,呈有规律变化;退火后,在大于4000?波段,n-λ与ε2-λ曲线基本恢复到单晶硅状态。但在小于4000?的紫外区却未完全恢复,注入剂量越大,偏离单晶硅就越大。并指出,紫外光区是离子注入硅的信息敏感区;用有效质量模型计算出注入剂量与损伤度的关系。计算结果与实验符合得较好。
关键词: 相似文献
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1 INTRODUCTION Carbon nanotubes have many potential applica- tions due to their unique structures and properties[1~4]. Physicists have been studying their electrical, me- chanical and other properties since their discove- ries[5, 6]. Recently, chemists are interested in carbon nanotubes because their properties can be altered by chemical functionalization[7~14], and these functiona- lized nanotubes can undergo further chemical trea- tment. So the potential application range of such na- … 相似文献
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激光等离子体探针及应用研究 总被引:6,自引:1,他引:5
本文介绍用阴影、纹影相干涉方法确定等离子体折射系数变化的原理。分析了等离子体中的非线性效应和对光探测系统的基本要求。并简要叙述了实验上采用的后向喇曼探测束,给出了等离子体干涉、纹影和阴影的测量结果。 相似文献
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线性泛函方程解的振动性的新结果 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究高阶泛函方程x(g(t))=P(t)x(t)+Q1(t)x(g2(t))+…+Qk(t)x(gk+1(t))解的振动性,得到了一些新的振动条件.改进和推广了已有结果. 相似文献
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文章简要地叙述了法国著名物理学家路易·奈尔的成长历程与生平业绩,其中包括他在磁学领域的诸多重大贡献、成功地创立和领导了一个富有成就的科学研究团体以及他堪称为一位出色的科技开发企业家的风范. 相似文献