排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
FIDIC工程合同与国内传统工程合同存在着较大的差异。对其基本要求、工程计算规则、工程规范及总承包方与指定分包人及独立施工单位的配合等方面的问题进行了探讨,说明在投标及合同执行过程中须注意事宜及处理技巧,以保障各方的合法权益。 相似文献
2.
应用俄歇电子能谱仪,对快速热氮化法制备的热氮化二氧化硅薄膜及快速热氮化后再氧化退火的二氧化硅薄膜,进行元素深度分布剖析。薄膜厚度约为60nm。分析结果发现:1)氮原子在二氧化硅薄膜中的扩散范围受氧原子浓度的控制;2)热氮化二氧化硅薄膜经氧化退火处理后氮原子浓度降低,分布变得平缓,均匀。 相似文献
3.
用快速热工艺氮化超薄SiO2膜的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
将热生长的超薄(4-23nm)SiO2置于用卤素钨灯作辐射热源的快速工艺系统中,用快速热氮化工艺制备了超薄的SiOxNy膜。研究表明,设定温度是工艺的关键。研究RTN过程的化学和动力学与温度关系及其对氮化质量的影响,比较各种不同条件RTN制备的SiOxNy膜的AES测量的结果,得到RTN反应的临界混度约为900℃,初步了灯眼薄SiO2生长动力学的氮/氧替代的微观过程。 相似文献
1