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目的研究高电荷态离子129Xeq (q=28,29,30)入射金属Au表面产生的特征X射线谱。方法应用高电荷态离子束流激发。结果在束流强度小于139 nA条件下,单离子的X射线产额可达10-8量级,特征X射线的产额随入射离子的动能和势能(电荷态)的增加而增加。结论与传统的X射线产生方法不同,高电荷态离子可以激发重原子的内壳层特征X射线谱,其产额高,品质好。 相似文献
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磁控溅射靶源设计及溅射工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
设计制作了方便实用的圆形直流平面磁控溅射靶源;用CT—5型高斯计测量铝靶面上的磁场分布,给出靶电压和靶电流随溅射氩气压(3.0×10-1~9.0×10-1Pa)的变化曲线和3种不同气压(1.0,0.6,0.2Pa)下的伏安特性曲线;在玻璃基体上制备了高纯铝、铜和钛膜.结果表明,该靶源可得到最佳磁场分布,且结构简单、更换靶材方便、溅射电压和气压低、成膜速度快、基体温升低. 相似文献
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