高精度多环片自动装配控制技术

为了实现对微小环片零件的自动化装配,搭建了自动装配系统.通过4根直线导向轴与4个直线轴承来提高系统的导向精度和刚度.采用直线导轨进行各装配作业模块之间的切换,保证了微小环片零件的自动装配与取出.在环片的装配方向上,螺旋升降机和光栅尺实现环片的位置精度控制.在Lab VIEW编程环境中,采用分层软件架构和模块化控制思想,避免了不必要的数据循环检测与丢失,能够达到环片组件的装配精度要求.控制系统分为系统初始化模块、参数设置模块、装配模块和取出模块,自动装配系统通过各个模块间的相互交流配合完成装配任务.采用本文中自动装配系统装配环片的实验结果表明,环片零件装配的最大位置误差为26μm,垂直度误差为17μm,平均装配时间为75 s/片,可满足环片组件所需的精度要求.     

Defocusing image to pattern contact holes using attenuated phase shift masks

The patterning of contact holes by selecting out-of-focus image plane (defocus) using attenuated phase shift masks (APSM) has been studied. Defocus is found to enhance the image modulation at low partial coherence for contact holes with negative local average of mask function. Semi-dense holes up to 130 nm in 8% APSM have been printed by 0.5 μm defocus at a partial coherence of 0.31 using KrF scanner with highest numerical aperture of 0.68. However, these holes were closed with in-focus imaging. Defocus is also found to be beneficial for patterning the pitches that have extensive side lobes with in-focus imaging.     

UC3875在超声电源功率控制系统中的应用

根据超声波发生器的功率控制系统原理 ,阐述了移相控制策略对超声波发生器输出电压波形的影响 ,介绍了移相控制专用芯片UC3875的电路结构和使用设计方法。     

现场总线技术在城市污水处理与气象中的应用

文章主要讨论了LonWorks现场总线技术在城市污水处理厂和气象指数预报中的应用。采用IPC和PLC控制结构对现场的各种设备实现控制和数据的采集，通过现场总线网络传输数据到中心控制室或远程终端，实现污水处理的自动控制和气象信息的实时采集和处理。     

露天矿半连续工艺技术应用现状及发展前景

介绍了露天矿半连续工艺技术国内外应用现状、研究成果以及发展趋势。     

靳善忠副省长在全省煤炭工业工作会议上的讲话(节选)

煤炭作为山西经济发展的支柱产业，在实现全面建设小康社会的奋斗目标过程中，要做出突出贡献，任务非常艰巨，要实现这一奋斗目标，2003年要努力做好6个方面的工作，在新型煤炭工业化道路上迈出更大步伐。     

在小型计算机上实现彩色地震剖面显示的尝试

彩色地震剖面显示是地震剖面显示技术中较为先进的一种显示方式.它具有常规黑白显示剖面所无法比拟的优点.尤其是在一些特殊处理显示的剖面(诸如三瞬剖面、虚速度测井剖面以及烃类显示剖面)中,这些剖面给人以清晰直观和一目了然的感觉.但是,目前彩色剖面在国内尚未得到普遍地应用,其原因之一是由于彩色显示处理要求计算机具有大的内存容量和高速运算等方面的性能,所以一般都是在大中型计算机上处理.而小型计算机由于内存容量和运算速度等面存在着不足,所以难以运行象现今国内所使用的UNIRAS这样庞大的系统.笔者在研究了UNIRAS系统的实现原理后,另辟蹊径,在只有32k内存容量又无虚拟存贮管理系统的TEMPUSⅡ小型计算机上,采用光栅处理技术,实现了地震剖面彩色显示,并取得了令人满意的结果.