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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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<正> 1991年,是山东潍坊纯碱厂生产形势进一步好转,纯碱质量全面提高,节能降耗工作取得显著成绩的一年:全年纯碱优级品率保持100%,纯碱生产成本由年初的790元/吨下降到年底的620元/吨(不含折旧、大修费),并在10月份获得了山东省优质产品的同时,又顺利的通过了国家生产考核。1991年,山东潍坊纯碱厂重视技术进步 相似文献
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电流模技术与电流模电路清华大学电子工程系(100084)高文焕李冬梅电流模技术是指电流模集成电路的理论基础、电路设计、制造及应用技术。它是与高速集成工艺相伴发展的新兴技术。用电流模技术设计的模拟集成电路速度快、精度高、频带宽、线性好,可以说是模拟集成... 相似文献
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高文栋 《机械工人(热加工)》2007,(10):22-23
一、低压真空渗碳设备的主要特点
低压真空渗碳设备是与低压真空渗碳技术同时出现的一种设备。该类设备的突出特点是选择的多样性,并且具有多种用途和先进的渗碳控制系统。 相似文献
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