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为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器.该传感器包括压力、温度和湿度传感器.各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成.该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成.测量电阻通过离子注入B 形成扩散电阻.为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置.温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿.芯片大小为5mm× 5 mm.试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度. 相似文献
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本文提出了一种评定厚板零件孔组位置度误差的新方法,并建立了相应的数学模型。此方法不仅可以用最小二乘法和最小区域法计算出厚板零件孔组位置误差值,而且还可以得到表征被测孔实际轴线形貌的特征参数。 相似文献
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本文通过分析和研究计量测试中误差分离技术的有关文献,提出用圆和圆柱形成法建立在线或在位检测工件形状误差(直线度、平面度、圆度、圆柱度、线轮廓度和面轮廓度)的数学模型。 相似文献
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坐标测量机上建立测量坐标系的理论与方法 总被引:2,自引:0,他引:2
本文研究了在三坐标测量上测量零件时,建立测量坐标系产生的测量误差,指出了用测量坐标系体现基准时。基准要符合最小条件,并论述了三种建立测量坐标系的方法,其中多点法中盾线拟合法还可以对直线度,平行度,垂直度等形位误差进行测量与评定,收到了满意的效果。 相似文献
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