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报道了采用集成技术制备的差分对结构PH-ISFET传感器及其特性,实验结果表明,ISFET器件性能良好,经差分放大器输出可以改善恒流电路测量的响应特性,且有效地抑制温漂、时漂等不稳定因素,采用金膜辅助电极替代甘汞参考电极的差分测量仍有较好的结果。 相似文献
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集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况,包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。 相似文献
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基于统计物理学和两层有附模型提出氧经物-电解溶液界面的表面基吸附模型,推导出完全由微观物理,化学参量描述的OAE界面电荷密度与电势的关系表达式,结果与实验数据的拟合在零电荷点附近令人满意,并对理论结果进行了讨论。 相似文献
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研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制备技术,即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术,以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构,其活动区面积为1.0×1.0mm2,框架厚度4μm。经加电测试,已观测到内、外框架在空气中的振动。 相似文献
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本文试图对半导体陶瓷气敏元件的敏感机理提出理论模型。假定吸附表面态由吸附的氧离子构成,则在吸附还原气体时,将伴随着向体内发射自由电子。运用统计热力学的一般方法给出电导率随气体浓度、加热温度以及材料参数变化的解析表达式,从而得到灵敏度与加热温度、气体浓度和材料参数的定量关系,所得结果与实验结果基本符合。 相似文献
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离子敏感场效应器件研究的进展牛蒙年(中国科学院上海冶金所)丁辛芳,童勤义(东南大学)0引言离子敏感场效应器件自问世至今已有二十多年,目前已能成功地对二十多种离子进行传感,而且形成多种对生物信号敏感的场效应结构传感器,如BioFET、ENFET、IMF... 相似文献
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集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。 相似文献