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文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。 相似文献
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微机械差动电容压力传感器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
文中介绍以N型单昌硅为基底,利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。 相似文献
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