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一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源 总被引:4,自引:1,他引:3
针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源。该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300~800 K的红外辐射,在温度T=1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2~15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2~14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求。经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求。 相似文献
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MEMS热激发红外脉冲光源 总被引:1,自引:0,他引:1
设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2~4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。 相似文献
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设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2-4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40 Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。 相似文献
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用于火灾探测的非色散红外吸收气体传感器 总被引:3,自引:0,他引:3
基于朗伯—比尔吸收定律建立了便携式非色散红外气体传感体系,并成功的应用于火灾现场生成气体的实时检测。该体系利用直接电调制的红外辐射源、窄带薄膜干涉滤光片和高灵敏度的TGS热释电红外探测器,很大程度地降低了系统的成本和体积,提高了探测灵敏度。通过对CO、CO2、NH3和SO2四种火灾现场燃烧生成气体在不同浓度状态下的测量,证明系统对所测气体可以达到了几十个微量级的探测极限,响应时间均小于20s,具有较好的稳定性,能够满足一定的测量要求。 相似文献
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