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报道了采用集成技术制备的差分对结构PH-ISFET传感器及其特性,实验结果表明,ISFET器件性能良好,经差分放大器输出可以改善恒流电路测量的响应特性,且有效地抑制温漂、时漂等不稳定因素,采用金膜辅助电极替代甘汞参考电极的差分测量仍有较好的结果。 相似文献
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场效应型氢离子敏传感器测量方法的实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
基于场效应型氢离子敏传感器(H^+-ISFET)参数及电流-电压特性,归结出四种H^+-ISFET传感器的四种测量工作模式,从应用角度讨论了它们的适用条件以及实现差动输出测量的简单方法。实验结果表明,由H^+-ISFET/REFET对管构成的差动输出电路具有较好的共模抑制能力和H^+离子敏感性能。 相似文献
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设计与制备了带Ti/Au膜参考电极的长臂式pH-ISFET集成传感器与微流通池。在静态和流动分析系统测量中表明:由蠕动泵驱动的待测液流动极畅,且试样量极少,响应速度快。 相似文献
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集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况,包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。 相似文献
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基于SDB/SOI材料和硅微机械加工技术,提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线PH-ISFET/压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统,以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离,又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。 相似文献
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基于统计物理学和两层有附模型提出氧经物-电解溶液界面的表面基吸附模型,推导出完全由微观物理,化学参量描述的OAE界面电荷密度与电势的关系表达式,结果与实验数据的拟合在零电荷点附近令人满意,并对理论结果进行了讨论。 相似文献
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