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本文提供了一个用火焰原子吸收法测定包容模拟核素Cs、Sr固体浸出液中Cs、Sr的连续测定方法。对一些主要共存元素Si、Fe、Al、Ca、Mg、K、Na对Cs、Sr测量的干扰,以及干扰的消除进行了某些研究。加入1.00mg/mlK+作为消电离剂,2.50mg/ml La~(3+)作为释放剂,在同一溶液中进行Cs、Sr连续测定。测得本方法回收率Cs为96%,Sr为98%。本方法简便易行,能为放射性废物固化试验迅速准确地提供分析数据。并能适用于水泥以及玻璃固化体中核素Sr、Cs的测定。 相似文献
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本文介绍了亚微米ULSI工艺中,采用钨插塞(Tungsten Plug)制作接触孔与通孔的技术,对于WCVD、W Etchback及其常见工艺问题作了一些分析,此项技术已经用于C05电路的工艺流片。 相似文献
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本文给出MX7304A单极质谱计在HT-7装置首次低温超导调试过程中的应用。介绍进行残气质谱分析的目的,方法和采用的差分抽气质谱分析系统;给出装置调诗过程中常温和低温状态下残气谱图;根据残气成分的分析和真空状况。并利用质谱分析系统作了检漏手段。 相似文献
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采用外接恒流源对注入机进行剂量校准 总被引:1,自引:0,他引:1
本文作者采用KEITHLEY220型可编程电流源对半导体生产中的关键工艺设备EATONNV6200A进行剂量校准,确保离子注入设备的精确计量,本文对于测试原理及校准过程作了详细论述,目前这一监控手段已用于实际生产,对工艺参数控制有一定的指导意义。 相似文献
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