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NMOS器件两次沟道注入杂质分布和阈电压计算 总被引:1,自引:1,他引:0
分别考虑了深浅两次沟道区注入杂质在氧化扩散过程中对表面浓度的贡献。对两次注入杂质的扩散分别提取了扩散系数的氧化增强系数、氧化衰减系数和有效杂地系数,给出了表面浓度与工艺参数之间的模拟关系式,以峰值浓度为强反型条件计算了开启电压,文章还给出了开启电压、氧化条件、不同注入组合之间的关系式。 相似文献
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介绍了以单片机8031为微处理机的加工精度统计分析仪的技术特性、工作原理、系统的硬件结构以及软件设计。 相似文献
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一、前言上海碳素厂(以下简称上碳厂)在对32室碳素制品焙烧炉的热平衡测试中发现烟气损失的热量高达31.4%。原因之一是32室焙烧炉中各炉室负压、排烟机的负压偏大和焙烧炉到排烟机之间烟道不严密,而造成烟气流量大,流速高,烟道负压损失也较大,大量冷空气被吸入。根据资料介绍,尾部炉室加热墙火道中燃烧物运动的换算速度控制在1~1.5米/秒,空气过剩系数α≤5,其办法是高温炉室的负压控制在0.5毫米水柱左右。因此,上碳厂按其介绍的数据对32室焙烧炉进行了测定和调整,使焙烧炉负压,空气过剩系数得到改善。 相似文献
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文中所描述的是在CAM应用领域里开发的机械加工数据库结构。文中着重讨论了数据文件中的数据格式、数据管理和恢复程序,给出了在数据修改和数据恢复对话过程中有关数据管理和恢复程序的各种特征范例。 相似文献