工艺因素对低压化学气相沉积氮化硅薄膜的影响

以硅烷和氨气分别做为硅源和氮源,以高纯氮气为载气,采用热壁式管式反应炉,通过低压化学气相沉积(low pressure chemical vapor deposition,LPCVD)技术制备了氮化硅薄膜(SiN_x)。借助椭圆偏振仪研究了SiN_x薄膜的生长动力学,通过Fourier红外光谱和X光电子能谱表征了SiN_x薄膜的性质,并利用原子力显微镜观察了SiN_x薄膜的微观形貌。在其它工艺条件相同的情况下,SiN_x薄膜的生长速率随着工作压力的增大单调增加,原料气中氨气与硅烷的流量之比(R)对薄膜的生长速率有相反的影响。随着反应温度的升高,沉积速率逐渐增加,在840℃附近达到最大,随后迅速降低。当R<2时获得富Si的SiN_x薄膜(x<1.33);当R>4时获得近化学计量(z≈1.33)的SiN_x薄膜。     

氮化硅基陶瓷连接技术的研究进展

陶瓷连接技术是结构陶瓷实用化的有效手段，焊料成分对连接体的性能具有决定性作用。本文主要从焊料成分选择的角度，总结了氮化硅基陶瓷连接技术的发展现状；并重点讨论了陶瓷／玻璃复合焊料在β-Sialon陶瓷连接中的应用。     

残余应力对TiC_p－AIN复合材料的影响

本工作采用热压工艺，以Ｙ＿２Ｏ＿３为烧结添加剂，在１８５０℃下制备ＴｉＣ＿ｐ－ＡＩＮ复合材料。结果表明：复合材料的密度、抗折强度、断裂韧性受第二相ＴｉＣ＿ｐ的影响，通过合理工艺因素选择，可以使复合材料的抗折强度和断裂韧性比基体ＡＩＮ材料分别提高４０％，８０％，达到４３８ＭＰａ，５．５９ＭＰａ·ｍ￣（１／２）。由ＸＲＤ内应力分析和ＴＥＭ显微结构测试结果可知，复合材料性能改善原因在于高弹性用量的ＴｉＣ引入以及ＡＩＮ和ＴｉＣ热膨胀系数不匹配导致的残余内应力。     

氧氮玻璃连接氮化硅陶瓷的研究进展

陶瓷连接技术是结构陶瓷实用化必须解决的难题之一．氧氮玻璃与氯化硅陶瓷间良好的化学相容性,保证了连接的有效性和可靠性．本文对氧氮玻璃的性能、连接机理以及结合强度的影响因素作了简要的综述．     

单、双螺杆泵的对比及应用

通过分析常见的单螺杆泵、双螺杆泵的结构特点,阐述这两种螺杆泵的工作原理,并将单螺杆泵、双螺杆泵这两种泵进行对比,总结出两种螺杆泵各自不同的特点和优越性。同时针对单螺杆泵在应用中产生振动的问题,分析其产生振动的原因,提出了防止单螺杆泵振动应采取的几种方法与措施;并针对双螺杆泵在应用中对含沙量比较敏感提出一定的防治措施,为以后在油田中的应用中合理选择螺杆泵提供一定的依据。     

低层全装配式混凝土结构的实践探索

以东莞某创优示范项目配电房为例,对低层全装配式混凝土结构进行了实践探索。从设计、生产、施工的一体化,多元化预制构件的拆分应用、异形柱框架结构的节点等角度进行研究与实践,并提出了兼顾外观与室内净高的全预制上反下挂梁方案,运用BIM技术进行精细化建模指引构件深化设计、生产和施工,达到提高工程质量和施工效率的目的。     

公路绿化的作用和养护管理分析

本文介绍了公路绿化的范围和作用，分析了公路绿化存在问题，提出了养护管理措施，供大家参考。     

10kV电压互感器相电压不平衡的分析

分析了灞桥热电有限责任公司12号主变低压侧电压互感器三相对地电压不平衡的原因，并提出了相应的改进措施。