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集成电路制造用溅射靶材的绑定技术,又称焊接或粘接技术,是溅射机台设计和制造工程师、溅射靶材开发生产工程师、以及集成电路制造工艺和设备工程师共同关心的问题,通过对比研究机械连接、钎焊、胶粘结、扩散焊、电子束焊和爆炸焊的应用条件和优缺点,增进溅射靶材设计、生产和使用相关工程师对靶材绑定技术的交流和认识。 相似文献
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分析新型金属格栅填料结构特点,设计出锯齿型和平直型舌片的格栅单元。测定了两种格栅单元在不同排列间距下,相邻层间无旋转时的流体力学和传质性能。得出排列间距36mm锯齿型格栅综合性能最优的结论。测定其相邻层间45°旋转排列时流体力学和传质性能,结果表明综合性能优越。 相似文献
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