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对通过蒸发获得的金属铋薄膜经加热氧化处理并与直接蒸发氧化铋获得的薄膜比较和进行光学性能测量,发现都能获得β相氧化铋薄膜。但是由于热氧化与蒸发的过程或速率不同,出现化学计量偏离,薄膜结构和光学性能变化。热氧化不够或低速率蒸发形成薄膜富铋,出现无定型或其它相结构,光学吸收限变宽,移向低能处。过氧化则会使薄膜富氧,同样使结构变化,吸收限变宽而向高能方向移动。实验表明蒸发金属铋薄膜然后经350℃,3小时热氧化是比较合适的制备氧化铋薄膜的条件。 相似文献
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ZnO薄膜是具有多种特性的功能薄膜。采用RF磁控反应溅射的方法可制备出较高质量的ZnO透明导电薄膜。该薄膜的电阻率为7.5×10-3Ωcm;可见光透射率约为85%;载流子浓度为5.7×1019cm-3;霍尔迁移率为5.99cm2/v·s。影响ZnO透明导电薄膜性能的因素很多,但是溅射用的靶体材料,反应溅射时的温度控制以及反应的氧气氛的控制尤为重要,实验表明使用掺有3.0wt%Al2O3的ZnO靶,基片温度控制在300℃,氧氩比为1∶10能制备出性能比较好的透明导电薄膜。本文对这三方面的影响进行实验并讨论了有关结果。 相似文献
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热反射幕墙玻璃是现代化建筑标致性的材料之一。采用热蒸发镀膜与磁控溅射一样也能生产出性能优良的幕墙玻璃。用特殊的前处理和后处理手段弥补热蒸发镀膜附着力差的缺陷。对蒸发和质量分布经计算机模拟,设计出最佳的蒸发源阵布局,使膜厚的均匀度>90%,视觉色差接近于零。专门研制的四组分合金材料使幕墙玻璃的力学、化学、光学性能得到保证。耐磨性:用SMG-1硬度试验机,质量200g,900圈无磨痕。耐酸碱性:50%HCl,5%H2SO4,5%NaOH溶液,室温各24h,无变化。透射率10%-30%,反射率30%-60%。 相似文献
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