带腐蚀性物料的真空系统在线检漏方法研究

带腐蚀性物料的真空系统,往往对密封性要求严格。为了进行带腐蚀性物料的真空系统在线检漏而进行研究,分析可行的检漏方法,提出适用手段。通过分析,经过分级冷冻、物料处理及选用适合的检漏步骤,能够使氦质谱检漏仪满足负压检漏条件,从而使用喷氦法确定漏点位置,使用氦罩法获得准确的漏率。实际应用证明,该方法用于带腐蚀性物料的真空系统在线检漏,能够准确、有效的检测漏点位置及漏率。该研究为带腐蚀性物料的真空系统在线检漏提供了技术支持。