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学科分类
工业技术
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2002年
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1.
金刚石薄膜异质外延的研究进展
总被引：3，自引：0，他引：3
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王生高
康志成
《真空与低温》
2002,8(2):71-76
主要介绍金刚石薄膜在Si上异质外延的研究状况。综述了外延金刚石薄膜的偏压形核 ,SiC过渡层的影响及一些实验参数对外延薄膜质量的影响等 ,并论述了发展方向
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